泊头市卓远机械设备制造有限公司

影响研磨平尺工作面平面度误差因素

影响测量结果误差的因素有：

1、测量点的定位误差，由等干涉仪纵、横向定位系统的误差引起，由测量点纵向定位误差和横向定位误差组成。由于标准干涉环直径和被测干涉环直径是比较测量，获得研磨面平尺的平面度，且数值很小，对检定合格仪器而言，测量点定位误差对测值影响很小，可以忽略不计。

2、测微目镜的误差，测微目镜误差不确定度分量，主要由测微目镜示值误差的不确定度分量和其回程误差的不确定度分量两部分组成。测微目镜的回程误差在考虑干涉环小数级数测量重复性时，已将其影响计算进去，故在此不予考虑。

3、扰度变形，研磨平尺和长平晶的自重会引起其扰度变形，对测量结果产生影响。测量方法中规定研磨平尺在测量时，两支承点置于被测研磨面平尺2/9L处，此时产生的扰度变形最小。

4、温度变化，温度对测量结果的影响表现在两个方面：对20℃的偏离和温度变化。在满足规程规定条件下，温度偏离20℃对测量结果的影响很小，可忽略不计。温度变化对测量结果影响很大。

5、长平晶工作面平面度，长平晶工作面平面度直接对研磨面平尺的测量结果产生影响，为此在检定方法中对其进行修正。